Магнетронный высокочастотный разряд в метане, аргоне и смеси метана с аргоном

Изучены параметры метаносодержащей плазмы в асимметричном высокочастотном разряде емкостного типа, активированном внешним магнитным полем. Для диагностики параметров плазмы ис­пользовались методы оптической эмиссионной спектроскопии, двойной зонд Ленгмюра и термопара. Экспериментально определены температура газа, вращательная температура возбуждения радика­лов $\mathrm{CH}$, температура электронов, концентрация заряженных частиц и концентрация атомарного во­дорода. В качестве рабочих газов использовались метан, аргон и смеси метана с аргоном. Проведе­но исследование осаждения в метаносодержащей плазме углеродосодержащих пленок на стеклян­ные подложки и изучены оптические свойства пленок. Показано, что магнитное поле существенно влияет на параметры плазмы и на свойства осаждаемых в высокочастотном разряде углеродосодер­жащих пленок.