Синтез тонких пленок нитрида алюминия

Рассмотрен способ получения тонких пленок нитрида алюминия методом прямого термического азотирования пленок алюминия. Показано, что при температурах $1200$–$1250^\circ$ С и давлениях азота $0{,}15$–$1$ МПа происходит полное азотирование пленок алюминия толщиной $0{,}7$–$0{,}8$ мкм. Получены текстурированные пленки, идентифицированные как $\mathrm{AlN}$, методом рентгеноструктурного анализа на ДРОН-3.