Успехи кибернетики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Успехи кибернетики:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Успехи кибернетики, 2024, том 5, выпуск 4, страницы 10–17
DOI: https://doi.org/10.51790/2712-9942-2024-5-4-01 (Mi uk171) 		 
О применимости 0-мерной (глобальной) модели для описания плазмы индукционного разряда в реакторах реактивно-ионного травления

А. М. Ефремовa, С. А. Смирновb, В. Б. Бетелинc

a Научно-исследовательский институт молекулярной электроники, Зеленоград, г. Москва, Российская Федерация
b Ивановский государственный химико-технологический университет, г. Иваново, Российская Федерация
c Федеральное государственное автономное учреждение «Федеральный научный центр Научно-исследовательский институт системных исследований Национального исследовательского центра «Курчатовский институт», г. Москва, Российская Федерация
PDF полного текста (378 kB)
Список литературы:
PDF
HTML
DOI: https://doi.org/10.51790/2712-9942-2024-5-4-01
Аннотация: Проведен анализ и обобщение предпосылок, используемых для моделирования плазмы индукционного разряда в диапазоне условий, характерном для реакторов реактивно-ионного травления кремния и его соединений. Подтверждено, что применение функции Максвелла для энергетического распределения электронов обеспечивает корректное описание кинетики процессов под действием электронного удара. Показано, что реализация как прямого (основанного на решении уравнений химической кинетики с привлечением данных зондовой диагностики плазмы в качестве входных параметров), так и самосогласованного (дополненного уравнениями баланса вкладываемой мощности и скоростей процессов ионизации/рекомбинации заряженных частиц) алгоритма моделирования обеспечивает удовлетворительное согласие результатов расчета с данными независимых экспериментов. Приведены примеры сравнения расчета с экспериментом для плазмы $Ar$, $Cl_2$ и $CF_4$. Отмечено, что применение самосогласованного алгоритма в сложных многокомпонентных системах затруднено отсутствием или низкой достоверностью данных по сечениям процессов под действием электронного удара и транспортным характеристикам (коэффициентам диффузии, подвижностям) нестабильных продуктов плазмохимических реакций.
Ключевые слова: реактивно-ионное травление, плазма, диагностика, моделирование, активные частицы.
Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации FNEF-2024-0004
публикация выполнена в рамках государственного задания НИЦ «Курчатовский институт» — НИИСИ (Проведение фундаментальных научных исследований (47 ГП)) по теме No 1023032900380-3-1.2.1 «Фундаментальные и прикладные исследования в области литографических пределов полупроводниковых технологий и физико-химических процессов травления 3D нанометровых диэлектрических структур для развития критических технологий производства ЭКБ. Исследование и построение моделей и конструкций элементов микроэлектроники в расширенном диапазоне температур (от -60 ${}^\circ$С до +300 ${}^\circ$С) (FNEF-2024-0004)».
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. М. Ефремов, С. А. Смирнов, В. Б. Бетелин, “О применимости 0-мерной (глобальной) модели для описания плазмы индукционного разряда в реакторах реактивно-ионного травления”, Успехи кибернетики, 5:4 (2024), 10–17
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{EfrSmiBet24}
\by А.~М.~Ефремов, С.~А.~Смирнов, В.~Б.~Бетелин
\paper О применимости 0-мерной (глобальной) модели для описания плазмы индукционного разряда в реакторах реактивно-ионного травления
\jour Успехи кибернетики
\yr 2024
\vol 5
\issue 4
\pages 10--17
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/uk171}
\crossref{https://doi.org/10.51790/2712-9942-2024-5-4-01}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/uk171
  • https://www.mathnet.ru/rus/uk/v5/i4/p10
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Успехи кибернетики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:79
    PDF полного текста:22
    Список литературы:12
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025