Управление технологическим процессом формирования структур интегральных элементов

Производство интегральных элементов является сложным многофакторным и многостадийным процессом. Современные технологические процессы формирования структур интегральных элементов обеспечиваются использованием низкотемпературных неравновесных импульсных и радиационно-стимулированных технологических операций. Решение задачи управления технологическими процессами основывается на понимании взаимосвязи между свойствами изделий, особенностями технологии их изготовления и характеристиками оборудования, с помощью которого реализуется эта технология. Предлагаемые подходы к управлению технологическими процессами позволяют исключить субъективный фактор и повысить эффективность систем управления. Показано, что основными технологическими операциями, существенно влияющими на выходные характеристики интегральных элементов при их производстве, являются ионная имплантация, отжиг, травление. Исследование и моделирование процессов на этих операциях позволят предложить рекомендации по управлению и разработать алгоритмы эффективного управления технологическими процессами формирования структур интегральных элементов.