Вычислительные методы и программирование
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Выч. мет. программирование:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Вычислительные методы и программирование, 2001, том 2, выпуск 1, страницы 12–26 (Mi vmp764)  
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Численное моделирование и компьютерный алгоритм процесса сегрегации легирующих примесей на границе волны окисления в полупроводниковых подложках

Г. А. Тарнавскийa, С. И. Шпакa, М. С. Обрехтb

a Институт теоретической и прикладной механики им. С. А. Христиановича СО РАН, г. Новосибирск
b Университет Ватерлоо, Канада
PDF полного текста (741 kB) Список цитирования (1)
Аннотация: В работе рассматривается идеология приближенного моделирования сложного физико-химического процесса сегрегации легирующих примесей, имплантированных в базовый материал, при движении по нему волны окисления, а также реализующий эту идеологию компьютерный алгоритм. Приводятся примеры расчетов сегрегации бора, мышьяка, фосфора и сурьмы в кремнии на границе “кремний/двуокись кремния”.
Ключевые слова: процессы сегрегации; волны окисления; легирующие примеси; численное моделирование; физико-химические процессы.
УДК: 519.2:541.1
Образец цитирования: Г. А. Тарнавский, С. И. Шпак, М. С. Обрехт, “Численное моделирование и компьютерный алгоритм процесса сегрегации легирующих примесей на границе волны окисления в полупроводниковых подложках”, Выч. мет. программирование, 2:1 (2001), 12–26
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{TarShpObr01}
\by Г.~А.~Тарнавский, С.~И.~Шпак, М.~С.~Обрехт
\paper Численное моделирование и компьютерный алгоритм процесса сегрегации
легирующих примесей на границе волны окисления в полупроводниковых подложках
\jour Выч. мет. программирование
\yr 2001
\vol 2
\issue 1
\pages 12--26
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/vmp764}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/vmp764
  • https://www.mathnet.ru/rus/vmp/v2/i1/p12
    • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Вычислительные методы и программирование
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:120
    PDF полного текста:65
    Список литературы:2
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025