|
Вычислительные методы и программирование, 2001, том 2, выпуск 1, страницы 12–26
(Mi vmp764)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Численное моделирование и компьютерный алгоритм процесса сегрегации
легирующих примесей на границе волны окисления в полупроводниковых подложках
Г. А. Тарнавскийa, С. И. Шпакa, М. С. Обрехтb a Институт теоретической и прикладной механики им. С. А. Христиановича СО РАН, г. Новосибирск
b Университет Ватерлоо, Канада
Аннотация:
В работе рассматривается идеология приближенного
моделирования сложного физико-химического процесса сегрегации
легирующих примесей, имплантированных в базовый материал, при
движении по нему волны окисления, а также реализующий эту идеологию
компьютерный алгоритм. Приводятся примеры расчетов сегрегации
бора, мышьяка, фосфора и сурьмы в кремнии на границе
“кремний/двуокись кремния”.
Ключевые слова:
процессы сегрегации; волны окисления; легирующие примеси; численное моделирование; физико-химические процессы.
Образец цитирования:
Г. А. Тарнавский, С. И. Шпак, М. С. Обрехт, “Численное моделирование и компьютерный алгоритм процесса сегрегации
легирующих примесей на границе волны окисления в полупроводниковых подложках”, Выч. мет. программирование, 2:1 (2001), 12–26
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/vmp764 https://www.mathnet.ru/rus/vmp/v2/i1/p12
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 119 | PDF полного текста: | 64 | Список литературы: | 2 |
|