|
|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru |
Цитирования |
|
2024 |
| 1. |
В. А. Вольпяс, Р. А. Платонов, В. В. Карзин, Т. К. Легкова, А. Д. Иванов, А. М. Сосунов, А. Б. Козырев, “Распределение давления газовой среды в распылительной системе ионно-плазменного осаждения”, Письма в ЖТФ, 50:4 (2024), 31–33   |
| 2. |
Д. А. Кудрявцева, А. Е. Комлев, А. Г. Алтынников, Р. А. Платонов, В. В. Карзин, А. А. Цымбалюк, “Моделирование процесса реактивного магнетронного распыления металлической (ванадиевой) мишени в высокомощном импульсном режиме”, Письма в ЖТФ, 50:2 (2024), 40–43 |
|
2023 |
| 3. |
А. Б. Козырев, В. А. Вольпяс, А. В. Тумаркин, А. Г. Алтынников, А. Е. Комлев, Р. А. Платонов, П. М. Трофимов, “Ионно-плазменное осаждение многокомпонентных пленок с заданным законом распределения состава по толщине”, Письма в ЖТФ, 49:4 (2023), 28–30 |
|
2016 |
| 4. |
В. А. Вольпяс, А. В. Тумаркин, А. К. Михайлов, А. Б. Козырев, Р. А. Платонов, “Ионно-плазменное осаждение оксидных пленок с измененным стехиометрическим составом: эксперимент и моделирование”, Письма в ЖТФ, 42:14 (2016), 87–93 ; V. A. Vol'pyas, A. V. Tumarkin, A. K. Mikhaǐlov, A. B. Kozyrev, R. A. Platonov, “Ion plasma deposition of oxide films with graded-stoichiometry composition: Experiment and simulation”, Tech. Phys. Lett., 42:7 (2016), 758–760 |
7
|
|
Обратная связь: