| 1. |
A. I. Abanin, R. M. Ryazanov, A. D. Golikov, V. V. Kovalyuk, I. O. Venediktov, P. P. An, D. A. Shimlovskaya, E. P. Kitsyuk, S. S. Kosolobov, P. I. Lazarenko, G. N. Gol'tsman, V. V. Svetukhin, “Разработка технологии создания фотонных интегральных схем с кольцевыми микрорезонаторами на основе структур Si/SiO$_2$/Si$_3$N$_4$”, Optics and Spectroscopy, 133:9 (2025), 957–962 |