|
|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru |
Цитирования |
|
1992 |
| 1. |
Ю. М. Мацевитый, Р. Ж. Ержанов, В. М. Тимченко, В. П. Шерышев, “Оптимизация параметров активационного отжига полупроводниковых пластин”, ТВТ, 30:6 (1992), 1181–1188  ; Yu. M. Matsevityi, R. Zh. Erzhanov, V. M. Timchenko, V. p. Sheryshev, “Optimizing semiconductor-wafer activation-annealing parameters”, High Temperature, 30:6 (1992), 980–985  |
|
