А. М. Чекушкин, Л. В. Филиппенко, А. А. Ломов, D. Liu, Sh.-C. Shi, В. П. Кошелец, “Оптимизация режимов изготовления пленок Nb, NbN, NbTiN и высококачественных туннельных переходов на их основе для приемных структур терагерцевого диапазона”, ЖТФ, 91:10 (2021), 1577–1582
