|
|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru |
Цитирования |
|
2026 |
| 1. |
Н. И. Чхало, М. М. Барышева, Е. И. Глушков, М. В. Зорина, М. С. Михайленко, М. Н. Торопов, “Методы измерений шероховатостей и их специфика применительно к высокоточным подложкам для рентгеновских зеркал”, ЖТФ, 96:10 (2026), 2146–2154  |
| 2. |
А. Е. Пестов, М. С. Михайленко, А. Н. Нечай, А. Я. Лопатин, А. А. Перекалов, М. Ю. Захарина, К. В. Арсеньева, Р. С. Ковылин, А. Н. Конев, С. А. Чесноков, “Исследование топологии олово-оксокластерных соединений, проэкспонированных ЭУФ излучением с длиной волны 13.55 nm”, ЖТФ, 96:10 (2026), 2111–2118 |
| 3. |
М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, М. В. Зорина, И. Д. Оськин, А. И. Артюхов, А. А. Назаров, П. А. Юнин, Н. И. Чхало, “Пороговое поведение шероховатости поверхности монокристаллического кремния при распылении ионами криптона”, ЖТФ, 96:10 (2026), 2029–2039 |
| 4. |
И. Д. Оськин, М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, А. К. Чернышев, И. Г. Забродин, Д. С. Дмитриев, Н. И. Чхало, “Компактный масс-спектрометр для контроля ионной коррекции формы поверхности”, ЖТФ, 96:10 (2026), 2011–2018 |
|
2025 |
| 5. |
Е. И. Глушков, А. А. Ахсахалян, П. А. Вепрев, И. Г. Забродин, М. В. Зорина, И. В. Малышев, М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, Е. В. Петраков, Р. С. Плешков, Е. С. Антюшин, В. Н. Полковников, Д. Г. Реунов, А. Б. Уласевич, А. К. Чернышев, Н. И. Чхало, Р. А. Шапошников, Я. В. Ракшун, Ю. В. Хомяков, В. А. Чернов, И. П. Долбня, “Двухзеркальный монохроматор для синхротрона “СКИФ” поколения 4+”, ЖТФ, 95:10 (2025), 1963–1972  |
| 6. |
Д. Г. Реунов, А. Д. Ахсахалян, Е. И. Глушков, И. П. Долбня, И. Г. Забродин, И. А. Каськов, И. В. Малышев, М. С. Михайленко, Е. В. Петраков, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, А. К. Чернышев, Н. И. Чхало, “Фокусирующая система Киркпатрика–Баеза для синхротронных применений”, ЖТФ, 95:10 (2025), 1954–1962 |
| 7. |
М. М. Барышева, Н. И. Чхало, Ю. А. Вайнер, М. В. Зорина, М. С. Михайленко, Р. М. Смертин, “Применимость интерферометров белого света для измерения шероховатости рентгенооптических элементов”, ЖТФ, 95:10 (2025), 1887–1897 |
| 8. |
А. Е. Пестов, М. С. Михайленко, А. К. Чернышев, Н. И. Чхало, И. Г. Забродин, А. И. Николаев, И. А. Каськов, Е. С. Антюшин, “Установка ионно-пучковой коррекции и асферизации формы поверхности оптических элементов УИП-300”, ЖТФ, 95:9 (2025), 1825–1835 |
|
2023 |
| 9. |
М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, А. К. Чернышев, Н. И. Чхало, “Изучение угловых зависимостей скоростей ионно-пучкового распыления металлов для синтеза заготовок фотошаблонов”, ЖТФ, 93:7 (2023), 1051–1053 |
| 10. |
М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, А. К. Чернышев, М. В. Зорина, Н. И. Чхало, Н. Н. Салащенко, “Изучение влияния энергии ионов неона на шероховатость поверхности основных срезов монокристаллического кремния при ионном травлении”, ЖТФ, 93:7 (2023), 1046–1050 |
2
|
| 11. |
Д. В. Петрова, М. С. Михайленко, М. В. Зорина, М. Н. Дроздов, А. Е. Пестов, Н. И. Чхало, “Нанесение жидкого стекла на подложки оптических элементов и его молекулярный состав”, ЖТФ, 93:7 (2023), 1037–1045 |
| 12. |
Д. Г. Реунов, Н. С. Гусев, М. С. Михайленко, Д. В. Петрова, И. В. Малышев, Н. И. Чхало, “Подложки для мягкой рентгеновской микроскопии на основе Si$_3$N$_4$ мембран”, ЖТФ, 93:7 (2023), 1032–1036 |
| 13. |
И. В. Малышев, М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, М. Н. Торопов, А. К. Чернышев, Н. И. Чхало, “Внеосевой асферический коллектор для экстремальной ультрафиолетовой литографии и мягкой рентгеновской микроскопии”, ЖТФ, 93:7 (2023), 963–967 |
|
2022 |
| 14. |
М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, А. К. Чернышев, А. А. Перекалов, М. В. Зорина, Н. И. Чхало, “Перспективы применения реактивного ионно-пучкового травления плавленого кварца смесью тетрафторметана и аргона для асферизации поверхности оптических элементов”, ЖТФ, 92:8 (2022), 1248–1252 |
| 15. |
М. В. Зорина, М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, М. Н. Торопов, А. К. Чернышев, Н. И. Чхало, С. К. Гордеев, В. В. Виткин, “Алмаз-карбид-кремниевый композит “скелетон” как перспективный материал для подложек рентгенооптических элементов”, ЖТФ, 92:8 (2022), 1238–1242 |
| 16. |
А. Е. Пестов, М. С. Михайленко, А. К. Чернышев, М. В. Зорина, Н. И. Чхало, “Модель физического распыления аморфных материалов”, ЖТФ, 92:8 (2022), 1230–1237 |
| 17. |
М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, А. К. Чернышев, М. В. Зорина, Н. И. Чхало, Н. Н. Салащенко, “Изучение влияния энергии ионов аргона на шероховатость поверхности основных срезов монокристаллического кремния”, ЖТФ, 92:8 (2022), 1219–1223 |
1
|
|
2021 |
| 18. |
М. Н. Торопов, А. А. Ахсахалян, И. В. Малышев, М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, А. К. Чернышов, Н. И. Чхало, “Линзовый корректор волнового фронта для изучения плоских поверхностей”, ЖТФ, 91:10 (2021), 1583–1587 |
1
|
|
2020 |
| 19. |
И. Г. Забродин, М. В. Зорина, И. А. Каськов, И. В. Малышев, М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, Н. Н. Салащенко, А. К. Чернышев, Н. И. Чхало, “Ионно-пучковые методики прецизионной обработки оптических поверхностей”, ЖТФ, 90:11 (2020), 1922–1930 ; I. G. Zabrodin, M. V. Zorina, I. A. Kas'kov, I. V. Malyshev, M. S. Mikhailenko, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, A. K. Chernyshev, N. I. Chkhalo, “Ion-beam methods for high-precision processing of optical surfaces”, Tech. Phys., 65:11 (2020), 1837–1845 |
10
|
| 20. |
М. В. Зорина, И. И. Кузнецов, М. С. Михайленко, О. В. Палашов, А. Е. Пестов, Н. И. Чхало, “Подготовка поверхности материалов для создания композитных оптических элементов”, ЖТФ, 90:11 (2020), 1913–1916 ; M. V. Zorina, I. I. Kuznetsov, M. S. Mikhailenko, O. V. Palashov, A. E. Pestov, N. I. Chkhalo, “Material surface treatment for design of composite optical elements”, Tech. Phys., 65:11 (2020), 1828–1831 |
2
|
| 21. |
С. А. Гарахин, М. В. Зорина, С. Ю. Зуев, М. С. Михаленко, А. Е. Пестов, Р. С. Плешков, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, “Модификация и полировка штриха голографической дифракционной решетки пучком нейтрализованных ионов Ar”, ЖТФ, 90:11 (2020), 1864–1869 ; S. A. Garakhin, M. V. Zorina, S. Yu. Zuev, M. S. Mikhailenko, A. E. Pestov, R. S. Pleshkov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, “Modification and polishing of the holographic diffraction grating grooves by a neutralized Ar ion beam”, Tech. Phys., 65:11 (2020), 1780–1785 |
1
|
|
2016 |
| 22. |
М. В. Зорина, С. Ю. Зуев, М. С. Михайленко, А. Е. Пестов, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. И. Чхало, “Повышение дифракционной эффективности решеток-эшелеттов за счет полировки поверхности штриха ионно-пучковым травлением”, Письма в ЖТФ, 42:16 (2016), 34–40 ; M. V. Zorina, S. Yu. Zuev, M. S. Mikhailenko, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, N. I. Chkhalo, “The diffraction efficiency of echelle gratings increased by ion-beam polishing of groove surfaces”, Tech. Phys. Lett., 42:8 (2016), 844–847 |
14
|
|
Обратная связь: