|
|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru |
Цитирования |
|
2020 |
| 1. |
М. С. Тужилкин, П. Г. Беспалова, М. В. Мишин, И. Е. Колесников, К. В. Карабешкин, П. А. Карасев, А. И. Титов, “Формирование наночастиц Au и особенности травления подложки Si после облучения атомарными и молекулярными ионами”, Физика и техника полупроводников, 54:1 (2020), 90–96   ; M. S. Tuzhilkin, P. G. Bespalova, M. V. Mishin, I. E. Kolesnikov, K. V. Karabeshkin, P. A. Karaseov, A. I. Titov, “Formation of Au nanoparticles and features of etching of a Si substrate under irradiation with atomic and molecular ions”, Semiconductors, 54:1 (2020), 137–143 |
7
|
|
