|
|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru |
Цитирования |
|
2015 |
| 1. |
П. Б. Болдыревский, А. Г. Коровин, С. А. Денисов, С. П. Светлов, В. Г. Шенгуров, “Анализ неравномерности толщины эпитаксиального слоя кремния при осаждении из сублимационных источников в вакууме”, Известия высших учебных заведений. Поволжский регион. Физико-математические науки, 2015, № 4, 93–100  |
|
2014 |
| 2. |
П. Б. Болдыревский, А. Г. Коровин, С. А. Денисов, С. П. Светлов, В. Г. Шенгуров, “Исследование однородности толщин слоев кремния, выращенных в процессе молекулярно-лучевой эпитаксии из сублимационного источника”, ЖТФ, 84:11 (2014), 155–158  ; P. B. Boldyrevskii, A. G. Korovin, S. A. Denisov, S. P. Svetlov, V. G. Shengurov, “Thickness uniformity of silicon layers grown from a sublimation source by molecular-beam epitaxy”, Tech. Phys., 59:11 (2014), 1732–1735 |
3
|
|
