В. А. Швейгерт, М. И. Жиляев, И. В. Швейгерт, “Моделирование моносилановой плазмы ВЧ-разряда”, Прикл. мех. техн. физ., 35:1 (1994), 13–21; V. A. Schweigert, M. I. Zhilyaev, I. V. Shveigert, “Modeling of a monosilane RF-discharge plasma”, J. Appl. Mech. Tech. Phys., 35:1 (1994), 13–20
