|
|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru |
Цитирования |
|
2013 |
| 1. |
Д. И. Смирнов, Р. М. Гиниятуллин, И. Ю. Зюльков, Н. А. Медетов, Н. Н. Герасименко, “Проблемы измерения параметров элементов и структур современной микро- и наноэлектроники на примере диффузионно-барьерных структур TiN/Ti”, Письма в ЖТФ, 39:14 (2013), 34–42   ; D. I. Smirnov, R. M. Giniyatyllin, I. Yu. Zyul’kov, N. A. Medetov, N. N. Gerasimenko, “Problems in measurements of parameters of elements and structures in modern micro- and nanoelectronics considering TiN/Ti diffusion barrier structures as an example”, Tech. Phys. Lett., 39:7 (2013), 640–643 |
1
|
|
