|
|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru |
Цитирования |
|
1989 |
| 1. |
А. Л. Богданов, К. А. Валиев, Л. В. Великов, Д. Ю. Зарослов, В. А. Никитаев, А. А. Поляков, В. Е. Тукиш, “Механизм формирования скрытого изображения при импульсном лазерном экспонировании позитивного вуф-резиста на основе ПММА, сенсибилизированного антраценом, и кинетика его проявления”, Матем. моделирование, 1:12 (1989), 44–51  |
| 2. |
А. Л. Богданов, К. А. Валиев, Л. В. Великов, Д. Ю. Зарослов, В. А. Никитаев, В. Е. Тукиш, “Метод обработки данных интерферометрического контроля растворения резистных пленок”, Матем. моделирование, 1:2 (1989), 160–164  |
|
1985 |
| 3. |
А. Л. Богданов, К. А. Валиев, Л. В. Великов, Д. Ю. Зарослов, А. М. Прохоров, “Наносекундная одноимпульсная лазерная литография”, Письма в ЖТФ, 11:17 (1985), 1025–1030  |
| 4. |
А. Л. Богданов, К. А. Валиев, Л. В. Великов, Д. Ю. Зарослов, А. П. Захаров, A. М. Прохоров, “Особенности использования импульсных УФ лазеров в фотолитографии”, Квантовая электроника, 12:12 (1985), 2498–2501 [A. L. Bogdanov, K. A. Valiev, L. V. Velikov, D. Yu. Zaroslov, A. P. Zakharov, A. M. Prokhorov, “Characteristics of the use of pulsed ultraviolet lasers in photolithography”, Sov J Quantum Electron, 15:12 (1985), 1654–1656 ] |
1
|
|
