|
|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru |
Цитирования |
|
2019 |
| 1. |
Д. Б. Абраменко, П. С. Анциферов, Д. И. Астахов, А. Ю. Виноходов, И. Ю. Вичев, Р. Р. Гаязов, А. С. Грушин, Л. А. Дорохин, В. В. Иванов, Д. А. Ким, К. Н. Кошелев, П. В. Крайнов, М. С. Кривокорытов, В. М. Кривцун, Б. В. Лакатош, А. А. Лаш, В. В. Медведев, А. Н. Рябцев, Ю. В. Сидельников, Е. П. Снегирёв, А. Д. Соломянная, М. В. Спиридонов, И. П. Цыгвинцев, О. Ф. Якушев, А. А. Якушкин, “Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)”, УФН, 189:3 (2019), 323–334   ; D. B. Abramenko, P. S. Antsiferov, D. I. Astakhov, A. Yu. Vinokhodov, I. Yu. Vichev, R. R. Gayazov, A. S. Grushin, L. A. Dorokhin, V. V. Ivanov, D. A. Kim, K. N. Koshelev, P. V. Krainov, M. S. Krivokorytov, V. M. Krivtsun, B. V. Lakatosh, A. A. Lash, V. V. Medvedev, A. N. Ryabtsev, Yu. V. Sidelnikov, E. P. Snegirev, A. D. Solomyannaya, M. V. Spiridonov, I. P. Tsygvintsev, O. F. Yakushev, A. A. Yakushkin, “Plasma-based sources of extreme ultraviolet radiation for lithography and mask inspection (50th anniversary of the Institute of Spectroscopy, Russian Academy of Sciences)”, Phys. Usp., 62:3 (2019), 304–314   |
22
|
|
2016 |
| 2. |
А. Ю. Виноходов, М. С. Кривокорытов, Ю. В. Сидельников, В. М. Кривцун, В. В. Медведев, К. Н. Кошелев, “Яркостный источник ЭУФ излучения на основе лазерной плазмы при использовании капельной жидкометаллической мишени”, Квантовая электроника, 46:5 (2016), 473–480 [A. Yu. Vinokhodov, M. S. Krivokorytov, Yu. V. Sidelnikov, V. M. Krivtsun, V. V. Medvedev, K. N. Koshelev, “High brightness EUV sources based on laser plasma at using droplet liquid metal target”, Quantum Electron., 46:5 (2016), 473–480 ] |
15
|
| 3. |
А. Ю. Виноходов, В. М. Кривцун, А. А. Лаш, В. М. Борисов, О. Ф. Якушев, К. Н. Кошелев, “Источник ЭУФ лазерно-индуцированного излучения высокой яркости на основе оловянной плазмы с неограниченным ресурсом электродов”, Квантовая электроника, 46:1 (2016), 81–87 [A. Yu. Vinokhodov, V. M. Krivtsun, A. A. Lash, V. M. Borisov, O. F. Yakushev, K. N. Koshelev, “High-brightness laser-induced EUV source based on tin plasma with an unlimited lifetime of electrodes”, Quantum Electron., 46:1 (2016), 81–87 ] |
12
|
| 4. |
А. Ю. Виноходов, К. Н. Кошелев, В. М. Кривцун, М. С. Кривокорытов, Ю. В. Сидельников, В. В. Медведев, В. О. Компанец, А. А. Мельников, С. В. Чекалин, “Формирование мелкодисперсной жидкометаллической мишени под действием лазерных импульсов фемто- и пикосекундной длительности для лазерного плазменного источника в экстремальном ультрафиолетовом диапазоне”, Квантовая электроника, 46:1 (2016), 23–28 [A. Yu. Vinokhodov, K. N. Koshelev, V. M. Krivtsun, M. S. Krivokorytov, Yu. V. Sidelnikov, V. V. Medvedev, V. O. Kompanets, A. A. Melnikov, S. V. Chekalin, “Formation of a fine-dispersed liquid-metal target under the action of femto- and picosecond laser pulses for a laser-plasma radiation source in the extreme ultraviolet range”, Quantum Electron., 46:1 (2016), 23–28 ] |
24
|
|
2013 |
| 5. |
Е. П. Иванова, А. Ю. Виноходов, “Рентгеновский лазер с длиной волны излучения 32.8 нм, образованный в потоке кластеров криптона”, Квантовая электроника, 43:12 (2013), 1099–1106 [E. P. Ivanova, A. Yu. Vinokhodov, “32.8-nm X-ray laser produced in a krypton cluster jet”, Quantum Electron., 43:12 (2013), 1099–1106 ] |
7
|
|
2010 |
| 6. |
В. М. Борисов, Г. Н. Борисова, А. Ю. Виноходов, С. В. Захаров, А. С. Иванов, Ю. Б. Кирюхин, В. А. Мищенко, А. В. Прокофьев, О. Б. Христофоров, “Мощный источник света в экстремальном УФ диапазоне (13.5 нм)”, Квантовая электроника, 40:8 (2010), 720–726 [V. M. Borisov, G. N. Borisova, A. Yu. Vinokhodov, S. V. Zakharov, A. S. Ivanov, Yu. B. Kiryukhin, V. A. Mishchenko, A. V. Prokof'ev, O. B. Khristoforov, “High-power EUV (13.5 nm) light source”, Quantum Electron., 40:8 (2010), 720–726 ] |
12
|
|
2009 |
| 7. |
В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, А. С. Иванов, Ю. Б. Кирюхин, В. А. Мищенко, А. В. Прокофьев, О. Б. Христофоров, “Лазерно-инициируемые источники экстремального ультрафиолетового излучения для производства интегральных схем следующего поколения”, Квантовая электроника, 39:10 (2009), 967–972 [V. M. Borisov, A. Yu. Vinokhodov, A. S. Ivanov, Yu. B. Kiryukhin, V. A. Mishchenko, A. V. Prokof'ev, O. B. Khristoforov, “Laser-induced extreme UV radiation sources for manufacturing next-generation integrated circuits”, Quantum Electron., 39:10 (2009), 967–972 ] |
6
|
|
2000 |
| 8. |
В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, В. А. Водчиц, А. В. Ельцов, “О предельных частотах повторения импульсов XeF-лазера”, Квантовая электроника, 30:10 (2000), 881–883 [V. M. Borisov, A. Yu. Vinokhodov, V. A. Vodchits, A. V. El'tsov, “On ultimate pulse repetition rates of an XeF laser”, Quantum Electron., 30:10 (2000), 881–883 ] |
3
|
| 9. |
В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, В. А. Водчиц, А. В. Ельцов, А. С. Иванов, “Разработка мощных KrF-лазеров с частотой повторения импульсов до 5 кГц”, Квантовая электроника, 30:9 (2000), 783–786 [V. M. Borisov, A. Yu. Vinokhodov, V. A. Vodchits, A. V. El'tsov, A. S. Ivanov, “Development of high-power KrF lasers with a pulse repetition rate up to 5 kHz”, Quantum Electron., 30:9 (2000), 783–786 ] |
5
|
|
1998 |
| 10. |
В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, В. А. Водчиц, А. В. Ельцов, Д. Бастинг, У. Штамм, Ф. Фосс, “О стабильности генерации компактного KrF-лазера мощностью 600 Вт”, Квантовая электроника, 25:2 (1998), 131–134 [V. M. Borisov, A. Yu. Vinokhodov, V. A. Vodchits, A. V. El'tsov, D. Basting, U. Stamm, F. Voss, “Operational stability of a compact 600-W KrF laser”, Quantum Electron., 28:2 (1998), 123–126 ] |
1
|
| 11. |
В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, В. А. Водчиц, А. И. Демин, А. В. Ельцов, Д. Бастинг, У. Штамм, Ф. Фосс, “Компактный KrF-лазер мощностью 600 Вт”, Квантовая электроника, 25:2 (1998), 126–130 [V. M. Borisov, A. Yu. Vinokhodov, V. A. Vodchits, A. I. Demin, A. V. El'tsov, D. Basting, U. Stamm, F. Voss, “Compact 600-W KrF laser”, Quantum Electron., 28:2 (1998), 119–122 ] |
5
|
|
1995 |
| 12. |
V. M. Borisov, I. E. Bragin, A. Yu. Vinokhodov, V. A. Vodchits, “Pumping rate of electric-discharge excimer lasers”, Квантовая электроника, 22:6 (1995), 533–536 [Quantum Electron., 25:6 (1995), 507–510 ] |
18
|
| 13. |
В. М. Борисов, А. В. Борисов, И. Е. Брагин, А. Ю. Виноходов, “Oграничениe средней мощности в компактных импульсно-периодических KrF-лазерах”, Квантовая электроника, 22:5 (1995), 446–450 [V. M. Borisov, A. V. Borisov, I. E. Bragin, A. Yu. Vinokhodov, “Effects limiting the average power of compact pulse-periodic KrF lasers”, Quantum Electron., 25:5 (1995), 421–425 ] |
8
|
|
1991 |
| 14. |
В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, С. М. Герасимов, Е. В. Евстратов, Ю. Б. Кирюхин, С. Г. Кузнецов, Ю. Ю. Степанов, В. А. Визирь, В. И. Манылов, С. П. Носенко, С. П. Сычев, В. В. Червяков, Н. Г. Шубкин, “Импульсно-периодический XeCl-лазер мощностью 600 Вт для технологических применений”, Квантовая электроника, 18:2 (1991), 183–185 [V. M. Borisov, A. Yu. Vinokhodov, S. M. Gerasimov, E. V. Evstratov, Yu. B. Kiryukhin, S. G. Kuznetsov, Yu. Yu. Stepanov, V. A. Vizir', V. I. Manylov, S. P. Nosenko, S. P. Sychev, V. V. Chervyakov, N. G. Shubkin, “Pulse-periodic 600-W XeCl laser for industrial applications”, Sov J Quantum Electron, 21:2 (1991), 162–164 ] |
1
|
|
1990 |
| 15. |
В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, Ю. Б. Кирюхин, С. Г. Кузнецов, Д. Н. Молчанов, А. Н. Морозов, О. Б. Христофоров, “Импульсно-периодический электроразрядный ХеСl-лазер”, Квантовая электроника, 17:2 (1990), 164–165 [V. M. Borisov, A. Yu. Vinokhodov, Yu. B. Kiryukhin, S. G. Kuznetsov, D. N. Molchanov, A. N. Morozov, O. B. Khristoforov, “Pulse-periodic electric discharge XeCl laser”, Sov J Quantum Electron, 20:2 (1990), 123–124 ] |
3
|
|
1988 |
| 16. |
В. Ю. Баранов, В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, Д. В. Власов, Ю. Б. Кирюхин, Д. Н. Молчанов, В. П. Новиков, М. И. Персианцев, И. В. Федоров, “ВКР-преобразование излучения с λ = 308 нм и частотой повторения импульсов до 600 Гц в сжатом водороде”, Квантовая электроника, 15:10 (1988), 2030–2037 [V. Yu. Baranov, V. M. Borisov, A. Yu. Vinokhodov, D. V. Vlasov, Yu. B. Kiryukhin, D. N. Molchanov, V. P. Novikov, M. I. Persiantsev, I. V. Fedorov, “Conversion of λ = 308 nm radiation at pulse repetition frequencies up to 600 Hz by stimulated Raman scattering in compressed hydrogen”, Sov J Quantum Electron, 18:10 (1988), 1272–1277 ] |
2
|
| 17. |
В. Ю. Баранов, В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, Ю. Б. Кирюхин, Д. Н. Молчанов, В. П. Новиков, О. Б. Христофоров, “Расходимость излучения электроразрядного XeCl-лазера в импульсно-периодическом режиме”, Квантовая электроника, 15:9 (1988), 1712–1719 [V. Yu. Baranov, V. M. Borisov, A. Yu. Vinokhodov, Yu. B. Kiryukhin, D. N. Molchanov, V. P. Novikov, O. B. Khristoforov, “Divergence of radiation from an electric-discharge XeCl laser operating in the pulse-periodic regime”, Sov J Quantum Electron, 18:9 (1988), 1065–1070 ] |
4
|
|
1987 |
| 18. |
В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, Ю. Б. Кирюхин, А. Н. Морозов, “Широкоапертурная электроразрядная система с УФ предыонизацией для импульсно-периодического XeCl-лазера”, Квантовая электроника, 14:11 (1987), 2168–2174 [V. M. Borisov, A. Yu. Vinokhodov, Yu. B. Kiryukhin, A. N. Morozov, “Wide-aperture electric discharge system with ultraviolet preionization for a pulse-periodic XeCl laser”, Sov J Quantum Electron, 17:11 (1987), 1381–1385 ] |
1
|
| 19. |
В. Ю. Баранов, В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, Ф. И. Высикайло, А. В. Губарев, Ю. Б. Кирюхин, И. Е. Краюшкин, С. А. Лаптев, “Об акустических колебаниях в газоразрядной камере быстропроточного импульсно-периодического лазера”, Квантовая электроника, 14:6 (1987), 1206–1212 [V. Yu. Baranov, V. M. Borisov, A. Yu. Vinokhodov, p. I. Vysikaylo, A. V. Gubarev, Yu. B. Kiryukhin, I. E. Krayushkin, S. A. Laptev, “Acoustic vibrations in the gas-discharge chamber of a fast-flow pulse-periodic laser”, Sov J Quantum Electron, 17:6 (1987), 766–770 ] |
5
|
| 20. |
В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, Ю. Б. Кирюхин, “Эффекты эволюции энергии генерации в импульсно-периодическом эксимерном лазере на XeCl со средней мощностью 400 Вт”, Квантовая электроника, 14:5 (1987), 936–942 [V. M. Borisov, A. Yu. Vinokhodov, Yu. B. Kiryukhin, “Output energy evolution effects in a pulse-periodic XeCl excimer laser with an average power of 400 W”, Sov J Quantum Electron, 17:5 (1987), 595–598 ] |
2
|
|
1986 |
| 21. |
Р. В. Арутюнян, В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, Ю. Б. Кирюхин, А. Н. Морозов, “Приэлектродные эффекты в импульсно-периодическом эксимерном лазере”, Квантовая электроника, 13:12 (1986), 2403–2407 [R. V. Arutyunyan, V. M. Borisov, A. Yu. Vinokhodov, Yu. B. Kiryukhin, A. N. Morozov, “Electrode effects in a pulse-periodic excimer laser”, Sov J Quantum Electron, 16:12 (1986), 1589–1592 ] |
7
|
|
1985 |
| 22. |
В. Ю. Баранов, В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, Ю. Б. Кирюхин, Ю. Ю. Степанов, “ВКР излучения электроразрядного импульсно-периодического XeCl-лазера в сжатом H<sub>2</sub>”, Квантовая электроника, 12:5 (1985), 1100–1102 [V. Yu. Baranov, V. M. Borisov, A. Yu. Vinokhodov, Yu. B. Kiryukhin, Yu. Yu. Stepanov, “Stimulated Raman scattering of radiation from an electric-discharge pulse-periodic XeCI laser in compressed H<sub>2</sub>”, Sov J Quantum Electron, 15:5 (1985), 727–729 ] |
8
|
| 23. |
Р. В. Арутюнян, В. Ю. Баранов, В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, Ю. Б. Кирюхин, “Влияние приэлектродных процессов на контрагирование объемного разряда в импульсно-периодических лазерах”, Квантовая электроника, 12:5 (1985), 971–977 [R. V. Arutyunyan, V. Yu. Baranov, V. M. Borisov, A. Yu. Vinokhodov, Yu. B. Kiryukhin, “Influence of electrode processes on the constriction of a volume discharge in pulse-periodic lasers”, Sov J Quantum Electron, 15:5 (1985), 639–642 ] |
4
|
|
1984 |
| 24. |
В. М. Борисов, Ф. И. Высикайло, А. Ю. Виноходов, Ю. Б. Кирюхин, “Установление стационарного уровня мощности в импульсно-периодическом эксимерном лазере”, Квантовая электроника, 11:10 (1984), 2069–2073 [V. M. Borisov, p. I. Vysikaylo, A. Yu. Vinokhodov, Yu. B. Kiryukhin, “Establishment of a steady-state power level in a pulse-periodic excimer laser”, Sov J Quantum Electron, 14:10 (1984), 1383–1384 ] |
1
|
| 25. |
В. Ю. Баранов, В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, Ф. И. Высикайло, Ю. Б. Кирюхин, “Об увеличении частоты следования импульсов ХеСl-лазера до 1 кГц”, Квантовая электроника, 11:4 (1984), 827–829 [V. Yu. Baranov, V. M. Borisov, A. Yu. Vinokhodov, p. I. Vysikaylo, Yu. B. Kiryukhin, “Increase in the repetition frequency of XeCl laser pulses to 1 kHz”, Sov J Quantum Electron, 14:4 (1984), 558–560 ] |
8
|
|
1983 |
| 26. |
В. Ю. Баранов, В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, Ф. И. Высикайло, Ю. Б. Кирюхин, “О причинах снижения мощности импульсно-периодического XeCl-лазера в процессе работы”, Квантовая электроника, 10:11 (1983), 2336–2340 [V. Yu. Baranov, V. M. Borisov, A. Yu. Vinokhodov, p. I. Vysikaylo, Yu. B. Kiryukhin, “Reasons for the fall in the output power of a pulse-periodic XeCl laser during its operation”, Sov J Quantum Electron, 13:11 (1983), 1518–1521 ] |
2
|
| 27. |
В. Ю. Баранов, В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, Ф. И. Высикайло, Ю. Б. Кирюхин, “Об особенностях импульсно-периодического режима эксимерных лазеров”, Квантовая электроника, 10:3 (1983), 540–546 [V. Yu. Baranov, V. M. Borisov, A. Yu. Vinokhodov, p. I. Vysikaylo, Yu. B. Kiryukhin, “Characteristics of the pulse-periodic regime of excimer lasers”, Sov J Quantum Electron, 13:3 (1983), 318–322 ] |
3
|
|
