|
|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru |
Цитирования |
|
2010 |
| 1. |
В. М. Борисов, Г. Н. Борисова, А. Ю. Виноходов, С. В. Захаров, А. С. Иванов, Ю. Б. Кирюхин, В. А. Мищенко, А. В. Прокофьев, О. Б. Христофоров, “Мощный источник света в экстремальном УФ диапазоне (13.5 нм)”, Квантовая электроника, 40:8 (2010), 720–726   [V. M. Borisov, G. N. Borisova, A. Yu. Vinokhodov, S. V. Zakharov, A. S. Ivanov, Yu. B. Kiryukhin, V. A. Mishchenko, A. V. Prokof'ev, O. B. Khristoforov, “High-power EUV (13.5 nm) light source”, Quantum Electron., 40:8 (2010), 720–726   ] |
12
|
|
2009 |
| 2. |
В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, А. С. Иванов, Ю. Б. Кирюхин, В. А. Мищенко, А. В. Прокофьев, О. Б. Христофоров, “Лазерно-инициируемые источники экстремального ультрафиолетового излучения для производства интегральных схем следующего поколения”, Квантовая электроника, 39:10 (2009), 967–972 [V. M. Borisov, A. Yu. Vinokhodov, A. S. Ivanov, Yu. B. Kiryukhin, V. A. Mishchenko, A. V. Prokof'ev, O. B. Khristoforov, “Laser-induced extreme UV radiation sources for manufacturing next-generation integrated circuits”, Quantum Electron., 39:10 (2009), 967–972 ] |
6
|
|
2000 |
| 3. |
В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, В. А. Водчиц, А. В. Ельцов, А. С. Иванов, “Разработка мощных KrF-лазеров с частотой повторения импульсов до 5 кГц”, Квантовая электроника, 30:9 (2000), 783–786 [V. M. Borisov, A. Yu. Vinokhodov, V. A. Vodchits, A. V. El'tsov, A. S. Ivanov, “Development of high-power KrF lasers with a pulse repetition rate up to 5 kHz”, Quantum Electron., 30:9 (2000), 783–786 ] |
5
|
|
