|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
КОРОТКОЕ СООБЩЕНИЕ
Анализ погрешностей лазерной записи оптических микроструктур на плёнках молибдена
С. Д. Полетаевab, С. Г. Волотовскийab a Самарский национальный исследовательский университет имени академика С.П. Королева, Самара, Россия
b Институт систем обработки изображений РАН – филиал ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН, Самара, Россия
Аннотация:
Методом вычислительного эксперимента исследовано влияние технологических погрешностей формирования амплитудных оптических решёток, изготовленных методом лазерной абляции тонких плёнок молибдена, на распределение дифракционных порядков в дальней зоне дифракции. Для этого оцифровывалась профилограмма участка сформированной дифракционной структуры с последующим преобразованием в амплитудную или фазовую функции пропускания.
Ключевые слова:
дифракционный микрорельеф, амплитудный оптический элемент, лазерная абляция.
Поступила в редакцию: 02.06.2016 Принята в печать: 24.06.2016
Образец цитирования:
С. Д. Полетаев, С. Г. Волотовский, “Анализ погрешностей лазерной записи оптических микроструктур на плёнках молибдена”, Компьютерная оптика, 40:3 (2016), 422–426
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/co160 https://www.mathnet.ru/rus/co/v40/i3/p422
|
|