|
|
Компьютерная оптика, 2014, том 38, выпуск 4, страницы 695–703
(Mi co178)
|
|
|
|
ДИФРАКЦИОННАЯ ОПТИКА, ОПТИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ
Датчик Гартмана на основе многоэлементных амплитудных масок с аподизированными апертурами
А. Г. Полещукa, А. Г. Седухинa, В. И. Труновb, В. Г. Максимовc a Институт автоматики и электрометрии СО РАН, г. Новосибирск
b Институт лазерной физики СО РАН, г. Новосибирск
c Институт мониторинга климатических и экологических систем СО РАН, г. Томск
Аннотация:
Представлено теоретическое и экспериментальное исследование датчика Гартмана, служащего для контроля волнового фронта световых пучков и выполненного на основе многоэлементных амплитудных масок с аподизированными апертурами. Проведён сравнительный анализ оптических характеристик амплитудных масок с резко ограниченными круглыми апертурами и полутоновых масок (ПМ) с аподизированными апертурами, формирующими световые пятна на фотосенсоре в виде плавных быстрозатухающих функций. Разработан и исследован метод изготовления хромовых ПМ на основе лазерного термохимического метода записи. Метод включает в себя два основных этапа: экспонирование плёнки хрома сфокусированным лазерным пучком с мощностью, изменяющейся плавно и нелинейно в зависимости от требуемой плотности структуры ПМ, а также проявку плёнки в селективном травителе. Экспериментально изготовлены образцы ПМ, состоящие из 64$\times$64 Гауссовых апертур. Изготовленные ПМ применены в модифицированном датчике Гартмана для контроля формы волнового фронта мощных лазерных систем.
Ключевые слова:
датчик волнового фронта, датчик Гартмана, аподизация, полутоновая лазерная запись.
Поступила в редакцию: 12.10.2014
Образец цитирования:
А. Г. Полещук, А. Г. Седухин, В. И. Трунов, В. Г. Максимов, “Датчик Гартмана на основе многоэлементных амплитудных масок с аподизированными апертурами”, Компьютерная оптика, 38:4 (2014), 695–703
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/co178 https://www.mathnet.ru/rus/co/v38/i4/p695
|
|