|
Физика твердого тела, 2024, том 66, выпуск 10, страницы 1721–1724 DOI: https://doi.org/10.61011/FTT.2024.10.59077.207
(Mi ftt10451)
|
|
|
|
Диэлектрики
Аномально узкий спектр локализованных состояний в аморфном нитриде кремния
Ю. Н. Новиковa, В. А. Гриценкоba a Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, Новосибирск, Россия
b Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия
DOI:
https://doi.org/10.61011/FTT.2024.10.59077.207
Аннотация:
Методом термостимулированной деполяризации установлен энергетический спектр локализованных дырочных состояний в аморфном нитриде кремния (Si$_3$N$_4$). Энергия дырочной ловушки составляет величину 1.15 eV. Ширина спектра дырочных локализованных состояний не превышает 10 meV, что меньше $kT$ = 26 meV при комнатной температуре. Этот результат указывает на то, что уширение уровня локализованных состояний, за счет отсутствия дальнего порядка в аморфном Si$_3$N$_4$, т. е за счет флуктуаций межатомного расстояния Si–N, тетраэдрического угла N–Si–N и диэдрического угла Si–N–Si, мало.
Ключевые слова:
термостимулированная деполяризация, нитрид кремния, ловушки, многофононная ионизация.
Поступила в редакцию: 02.08.2024 Исправленный вариант: 13.09.2024 Принята в печать: 17.09.2024
Образец цитирования:
Ю. Н. Новиков, В. А. Гриценко, “Аномально узкий спектр локализованных состояний в аморфном нитриде кремния”, Физика твердого тела, 66:10 (2024), 1721–1724
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt10451 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v66/i10/p1721
|
|