Физика твердого тела
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика твердого тела:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика твердого тела, 2023, том 65, выпуск 3, страницы 509–512
DOI: https://doi.org/10.21883/FTT.2023.03.54752.547 (Mi ftt10628) 		 
Физика поверхности, тонкие пленки

Влияние высокотемпературного отжига на физико-химические свойства систем на основе FeSi$_x$

Д. Е. Николичев, Р. Н. Крюков, А. В. Здоровейщев, Ю. М. Кузнецов, Д. А. Здоровейщев, Ю. А. Дудин, М. В. Дорохин, А. А. Скрылев

Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
PDF полного текста (292 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/FTT.2023.03.54752.547
Аннотация: Установлено, что физико-химические свойства структур на основе силицидов железа, полученных ионной имплантацией ионов железа в кремний, существенно зависят от времени последующего высокотемпературного отжига. На поверхности образуются объекты с различными геометрическими параметрами и увеличивается шероховатость. Отжиг при 1000$^\circ$C в атмосфере Ar сопровождается уменьшением содержания химической связи Fe–Si в первые 60 с. Причиной падения теплопроводности при увеличении температуры отжига является формирование силицидных комплексов.
Ключевые слова: силицид железа, термоэлектрик, ионная имплантация, химический состав, рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
Финансовая поддержка Номер гранта
Программа стратегического академического лидерства Приоритет-2030 Н-487-99
Работа выполнена в рамках реализации проекта Н-487-99 по программе стратегического академического лидерства “Приоритет-2030”.
Поступила в редакцию: 06.12.2022
Исправленный вариант: 28.12.2022
Принята в печать: 28.12.2022
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: Д. Е. Николичев, Р. Н. Крюков, А. В. Здоровейщев, Ю. М. Кузнецов, Д. А. Здоровейщев, Ю. А. Дудин, М. В. Дорохин, А. А. Скрылев, “Влияние высокотемпературного отжига на физико-химические свойства систем на основе FeSi$_x$”, Физика твердого тела, 65:3 (2023), 509–512
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{NikKriZdo23}
\by Д.~Е.~Николичев, Р.~Н.~Крюков, А.~В.~Здоровейщев, Ю.~М.~Кузнецов, Д.~А.~Здоровейщев, Ю.~А.~Дудин, М.~В.~Дорохин, А.~А.~Скрылев
\paper Влияние высокотемпературного отжига на физико-химические свойства систем на основе FeSi$_x$
\jour Физика твердого тела
\yr 2023
\vol 65
\issue 3
\pages 509--512
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ftt10628}
\crossref{https://doi.org/10.21883/FTT.2023.03.54752.547}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=53742896}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt10628
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v65/i3/p509
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика твердого тела Физика твердого тела
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025