Количественный анализ пленочных структур с диффузной границей раздела, исследованных методом электронной Оже-спектроскопии

Предложена модель для интерпретации результатов электронной Оже-спектроскопии в случае пленочных систем с реакционно-способными границами раздела. Установлена количественная связь параметров переходного слоя и формы зависимостей величины Оже-сигнала подложки от толщины пленки в таких системах. Апробация модели проведена для трех границ раздела редкоземельный металл (Yb, Sm, Gd) – Si(111). Получены количественные данные, касающиеся их структуры и стехиометрического состава, а также зависимости указанных характеристик от термодинамических свойств исследованных редкоземельных металлов.