Физика твердого тела
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика твердого тела:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика твердого тела, 2022, том 64, выпуск 1, страницы 117–124
DOI: https://doi.org/10.21883/FTT.2022.01.51840.209 (Mi ftt10950) 		 
Фазовые переходы

Режимы роста пленок нитрида алюминия на гибридных подложках SiC/Si(111)

А. А. Корякинa, С. А. Кукушкинb, А. В. Осиповb, Ш. Ш. Шарофидиновb

a Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
b Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия
PDF полного текста (784 kB)
DOI: https://doi.org/10.21883/FTT.2022.01.51840.209
Аннотация: Теоретически проанализирован механизм зарождения пленок нитрида алюминия, выращиваемых методом хлорид-гидридной эпитаксии на гибридных подложках 3C-SiC/Si(111). Определены температурные области и области давлений паров компонентов, в которых реализуются островковый и послойный механизмы роста. Теоретические выводы сравниваются с экспериментальными данными. Методом сканирующей электронной микроскопии изучена морфология пленки нитрида алюминия на 3C-SiC/Si(111) на начальной стадии роста. Предлагаются способы управления сменой механизма роста от островкового к послойному.
Ключевые слова: нитрид алюминия, нитрид галлия, карбид кремния на кремнии, метод HVPE, нуклеация, широкозонные полупроводники, гетероструктуры.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 20-12-00193
Работа выполнена при финансовой поддержке Российского научного фонда (проект № 20-12-00193).
Поступила в редакцию: 22.09.2021
Исправленный вариант: 22.09.2021
Принята в печать: 26.09.2021
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. А. Корякин, С. А. Кукушкин, А. В. Осипов, Ш. Ш. Шарофидинов, “Режимы роста пленок нитрида алюминия на гибридных подложках SiC/Si(111)”, Физика твердого тела, 64:1 (2022), 117–124
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KorKukOsi22}
\by А.~А.~Корякин, С.~А.~Кукушкин, А.~В.~Осипов, Ш.~Ш.~Шарофидинов
\paper Режимы роста пленок нитрида алюминия на гибридных подложках SiC/Si(111)
\jour Физика твердого тела
\yr 2022
\vol 64
\issue 1
\pages 117--124
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ftt10950}
\crossref{https://doi.org/10.21883/FTT.2022.01.51840.209}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=48284558}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt10950
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v64/i1/p117
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика твердого тела Физика твердого тела
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:59
    PDF полного текста:40
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025