Влияние построчного лазерного сканирования на свойства лазерно-индуцированного графена

Технология карбонизации полиимидной (ПИ) пленки путем прямой лазерной обработки привлекает большое внимание благодаря универсальности и простоте получения углеродного материала, лазерно-индуцированного графена (ЛИГ), используемого при создании различных датчиков и функциональных устройств. В настоящей работе получены пленочные структуры ЛИГ путем построчного сканирования пучка непрерывного CO$_2$-лазера по поверхности ПИ-пленки. Синтезированный пленочный углеродный материал исследован с помощью оптической и сканирующей электронной микроскопии (СЭМ), рентгенофотоэлектронной спектроскопии (РФЭС) и спектроскопии комбинационного рассеяния света (КРС). Показано, что спектры КРС отдельной строки ЛИГ и множества строк ЛИГ, накладывающихся друг на друга, существенно отличаются друг от друга. Установлено, что многократное лазерное сканирование ПИ-пленки приводит к заметному уменьшению количества дефектов ЛИГ, а также к значительному уменьшению удельного поверхностного сопротивления синтезируемого пленочного материала. Полученные результаты могут быть использованы при синтезе пленочных структур ЛИГ с улучшенными характеристиками.