Унимодальное и бимодальное распределение серебряных наночастиц в $a$-C : Ag-структурах с различным соотношением $sp^2/sp^3$-углерода, изготовленных методом низкоэнергетического ионно-ассистированного импульсно-плазменного осаждения

Представлены результаты исследования аморфных углеродных покрытий с инкапсулированными серебряными наночастицами ($a$-C : Ag). Методом просвечивающей электронной микроскопии показано, что введение низкоэнергетического (100–300 eV) ионного ассистирования в процесс импульсно-плазменного осаждения может в различных случаях привести как к унимодальному, так и к бимодальному распределению серебряных включений по размерам. Установлено, что характер распределения определяется мощностью импульсно-плазменного источника. Рассмотрено влияние вариации потока осаждающихся частиц на процесс ионно-индуцированной поверхностной диффузии на поверхности покрытий. Показано, что данный процесс в совокупности с ионно-индуцированным формированием центров зародышеобразования оказывает влияние на характер распределения серебряных включений по размерам. С помощью спектроскопии характеристических потерь энергии электронов установлено, что изменение поверхностной концентрации серебряных наночастиц коррелирует с соотношением $sp^2$- и $sp^3$-гибридизованных атомов углерода.