Линейные и нелинейные диэлектрические свойства пленочных гетероструктур BaTiO$_3$/Si, полученных методом импульсного лазерного осаждения

Методом импульсного лазерного осаждения изготовлены гетеропереходы, состоящие из пленок ВаТiO$_3$ $n$-типа толщиной 70 nm и кремниевых подложек $p$-типа с ориентацией (100). На основе линейных и нелинейных диэлектрических измерений показано, что в пленках титаната бария происходят три последовательных структурных перехода между кубической, тетрагональной, ромбической и ромбоэдрической фазами с параметрами, несколько отличающимися от параметров соответствующих переходов в монокристалле BaTiO$_3$. Геометрия диэлектрических измерений различалась при выявлении конкретных фазовых переходов. Наблюдалось значительное увеличение нелинейности гетероперехода при переходе пленки в сегнетоэлектрическое состояние.