Свойства монокристллов кремния после их деформации при высоком давлении

В результате пластической деформации монокристаллов кремния на ${\varepsilon>3}$% касательными напряжениями ${\tau\sim2.5}$ кбар под давлением ${P\sim70}$ кбар и температуре $500{-}800^{\circ}$С весь оптически активный кислород $N_{0}$ переходит в оптически неактивное состояние, в результате чего пик поглощения 9.1 мкм полностью исчезает.
Восстановление оптической активности кислорода происходит в результате отжига только при ${T=1100{-}1150^{\circ}}$С, причем все количество кислорода восстанавливается полностью за 1$-$10 с. После деформации никаких сигналов ЭПР не наблюдалось. Облучение электронами образцов после деформации не приводит к образованию $A$-центров. На первой стадии деформации (до 9%) образуются доноры в образцах как с большим содержанием ${N_{0}>10^{18}\,\text{1/см}^{3}}$, так и с малым ${N_{0}<10^{16}\,\text{1/см}^{3}}$. При деформации ${\varepsilon\geqslant>9}$% образуются акцепторы в количестве более $10^{19}\,\text{1/см}^{3}$.