|
|
Физика твердого тела, 2015, том 57, выпуск 3, страницы 540–544
(Mi ftt11389)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 22 научных статьях (всего в 22 статьях)
ХХ Всероссийская конференция по физике сегнетоэлектриков (ВКС-XX)
Структурные свойства пленочного титаната бария-стронция в зависимости от технологических условий роста пленок
А. В. Тумаркин, В. И. Альмяшев, С. В. Разумов, М. М. Гайдуков, А. Г. Гагарин, А. Г. Алтынников, А. Б. Козырев Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Аннотация:
Исследованы структурные свойства сегнетоэлектрических пленок титаната бария-стронция различного состава в зависимости от технологических условий осаждения. Показано, что температура осаждения оказывает прямое влияние на фазовый и компонентный состав пленок, параметры кристаллической решетки и размеры кристаллитов. При температуре осаждения порядка 600$^\circ$C наряду с фазой титаната бария-стронция образуются примесные фазы полититанатов стронция. При увеличении температуры до 880$^\circ$C в пленках наблюдается недостаток бария по сравнению с распыляемой мишенью. Оценена температура осаждения, обеспечивающая стехиометрический перенос компонентного состава мишени в пленку титаната бария-стронция.
Образец цитирования:
А. В. Тумаркин, В. И. Альмяшев, С. В. Разумов, М. М. Гайдуков, А. Г. Гагарин, А. Г. Алтынников, А. Б. Козырев, “Структурные свойства пленочного титаната бария-стронция в зависимости от технологических условий роста пленок”, Физика твердого тела, 57:3 (2015), 540–544; Phys. Solid State, 57:3 (2015), 553–557
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt11389 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v57/i3/p540
|
|