|
|
Физика твердого тела, 2015, том 57, выпуск 8, страницы 1616–1621
(Mi ftt11605)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Физика поверхности, тонкие пленки
Топология анодно сформированной окисной пленки на монокристалле кремния
А. М. Орлов, И. О. Явтушенко, М. Ю. Махмуд-Ахунов Ульяновский государственный университет
Аннотация:
Представлены результаты исследований морфологических свойств окисной пленки, полученной на монокристаллическом кремнии анодным окислением в дистиллированной воде в потенциостатическом режиме. Установлено, что оксидная пленка независимо от значения прикладываемого потенциала и времени анодной обработки всегда формируется в виде отдельных островков, форма которых зависит от ориентации подложки.
Поступила в редакцию: 15.12.2014
Образец цитирования:
А. М. Орлов, И. О. Явтушенко, М. Ю. Махмуд-Ахунов, “Топология анодно сформированной окисной пленки на монокристалле кремния”, Физика твердого тела, 57:8 (2015), 1616–1621; Phys. Solid State, 57:8 (2015), 1653–1658
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt11605 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v57/i8/p1616
|
|