Исследования свойств двухслойной структуры BiFeO$_3$/промежуточный слой, полученной методом магнетронного распыления

Исследованы свойства двухслойных структур (ДС) BiFeO$_3$ (ВFO)/промежуточный слой/подложка, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления при низких температурах (450$^\circ$C) и осаждением как на подложки, так и на промежуточные слои между подложкой и пленкой BiFeO$_3$ (ВFO). В качестве подложки были использованы стеклянные или коммерческие подложки Pt/Ti/SiO$_2$/Si (001), а промежуточными слоями служили пленки из FePt-структуры $L1_0$ или из Pt. Промежуточные слои из Pt и $L1_0$-FePt обладают наведенными за счет быстрого термического отжига текстурами (111) и (001) соответственно. При осаждении на коммерческие подложки формируются изотропные пленки BFO, обладающие большой шероховатостью поверхности и состоящие из гранул со структурой перовскита BFO размером около 200 nm. В случае осаждения пленки BFO на промежуточный слой из Pt-текстуры (111) фаза BiFeO$_3$ подавляется. При осаждении на промежуточный слой из пленки FePt-структуры $L1_0$ текстуры (001) формируется однофазная пленка BFO с текстурой (001) со структурой перовскита, которая (по сравнению с пленками BFO, выращенными на коммерческой подложке) имеет меньшую шероховатость, меньшие размеры гранул и значительно лучшие сегнетоэлектрические свойства.