Влияние процессов в факеле при лазерной абляции на удельное сопротивление и морфологию нанокристаллических пленок ZnO

Изучены особенности формирования нанокристаллических пленок ZnO методом импульсного лазерного осаждения при различных расстояних мишень-подложка. Получены выражения для оценки температуры, концентрации частиц и давления в факеле при лазерной абляции. Проведена оценка влияния этих параметров на электрофизические свойства нанокристаллических пленок ZnO, полученных методом импульсного лазерного осаждения. Продемонстрирована возможность контролируемого получения нанокристаллических пленок ZnO с шероховатостью поверхности в диапазоне 2–15 nm, диаметром зерен в интервале 70–620 nm, удельным сопротивлением в диапазоне (1.75–5.3) $\cdot$ 10$^{-3}$ $\Omega$ $\cdot$ cm.