|
|
Физика твердого тела, 2015, том 57, выпуск 12, страницы 2469–2474
(Mi ftt11744)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 10 научных статьях (всего в 10 статьях)
Физика поверхности, тонкие пленки
Инфракрасная спектроскопия слоев карбида кремния, синтезированных методом замещения атомов на поверхности монокристаллического кремния
С. А. Грудинкинab, В. Г. Голубевa, А. В. Осиповbc, Н. А. Феоктистовabc, С. А. Кукушкинbcd a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
c Институт проблем машиноведения РАН, г. Санкт-Петербург
d Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Аннотация:
Представлены результаты исследования методом инфракрасной (ИК) спектроскопии эпитаксиальных слоев карбида кремния, выращенных методом замещения атомов на поверхности монокристаллического кремния. В ИК-спектрах наблюдается полоса при 798 cm$^{-1}$, соответствующая ТО-фонону в решетке карбида кремния. Определены параметры разупорядоченного карбида кремния, находящегося на поверхности пор между эпитаксиальным карбидом кремния и подложкой кремния. В ИК-спектрах карбида кремния обнаружена полоса в области 960 cm$^{-1}$. Предложена гипотеза, согласно которой данная полоса соответствует энергии предсказанного ранее теоретически упругого диполя – упруго взаимодействующих атома углерода в межузельной позиции и кремниевой вакансии.
Поступила в редакцию: 08.06.2015
Образец цитирования:
С. А. Грудинкин, В. Г. Голубев, А. В. Осипов, Н. А. Феоктистов, С. А. Кукушкин, “Инфракрасная спектроскопия слоев карбида кремния, синтезированных методом замещения атомов на поверхности монокристаллического кремния”, Физика твердого тела, 57:12 (2015), 2469–2474; Phys. Solid State, 57:12 (2015), 2543–2549
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt11744 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v57/i12/p2469
|
|