Физика твердого тела
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Физика твердого тела:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Физика твердого тела, 2015, том 57, выпуск 12, страницы 2469–2474 (Mi ftt11744)  

Эта публикация цитируется в 10 научных статьях (всего в 10 статьях)

Физика поверхности, тонкие пленки

Инфракрасная спектроскопия слоев карбида кремния, синтезированных методом замещения атомов на поверхности монокристаллического кремния

С. А. Грудинкинab, В. Г. Голубевa, А. В. Осиповbc, Н. А. Феоктистовabc, С. А. Кукушкинbcd

a Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
b Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
c Институт проблем машиноведения РАН, г. Санкт-Петербург
d Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Аннотация: Представлены результаты исследования методом инфракрасной (ИК) спектроскопии эпитаксиальных слоев карбида кремния, выращенных методом замещения атомов на поверхности монокристаллического кремния. В ИК-спектрах наблюдается полоса при 798 cm$^{-1}$, соответствующая ТО-фонону в решетке карбида кремния. Определены параметры разупорядоченного карбида кремния, находящегося на поверхности пор между эпитаксиальным карбидом кремния и подложкой кремния. В ИК-спектрах карбида кремния обнаружена полоса в области 960 cm$^{-1}$. Предложена гипотеза, согласно которой данная полоса соответствует энергии предсказанного ранее теоретически упругого диполя – упруго взаимодействующих атома углерода в межузельной позиции и кремниевой вакансии.
Поступила в редакцию: 08.06.2015
Англоязычная версия:
Physics of the Solid State, 2015, Volume 57, Issue 12, Pages 2543–2549
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063783415120136
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: С. А. Грудинкин, В. Г. Голубев, А. В. Осипов, Н. А. Феоктистов, С. А. Кукушкин, “Инфракрасная спектроскопия слоев карбида кремния, синтезированных методом замещения атомов на поверхности монокристаллического кремния”, Физика твердого тела, 57:12 (2015), 2469–2474; Phys. Solid State, 57:12 (2015), 2543–2549
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{GruGolOsi15}
\by С.~А.~Грудинкин, В.~Г.~Голубев, А.~В.~Осипов, Н.~А.~Феоктистов, С.~А.~Кукушкин
\paper Инфракрасная спектроскопия слоев карбида кремния, синтезированных методом замещения атомов на поверхности монокристаллического кремния
\jour Физика твердого тела
\yr 2015
\vol 57
\issue 12
\pages 2469--2474
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ftt11744}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=24195816}
\transl
\jour Phys. Solid State
\yr 2015
\vol 57
\issue 12
\pages 2543--2549
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063783415120136}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt11744
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v57/i12/p2469
  • Эта публикация цитируется в следующих 10 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Физика твердого тела Физика твердого тела
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025