Физика твердого тела
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Физика твердого тела:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Физика твердого тела, 2014, том 56, выпуск 2, страницы 209–223 (Mi ftt11880)  

Эта публикация цитируется в 125 научных статьях (всего в 125 статьях)

Обзоры

Электронная структура оксида кремния (Обзор)

С. С. Некрашевич, В. А. Гриценко

Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
Аннотация: Аморфные пленки оксида кремния являются ключевым диэлектриком в кремниевых интегральных схемах. Физические свойства оксида кремния определяются его электронной структурой. Cистематизированы современные сведения об электронной структуре оксида кремния.
Поступила в редакцию: 03.07.2013
Англоязычная версия:
Physics of the Solid State, 2014, Volume 56, Issue 2, Pages 207–222
DOI: https://doi.org/10.1134/S106378341402022X
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: С. С. Некрашевич, В. А. Гриценко, “Электронная структура оксида кремния (Обзор)”, Физика твердого тела, 56:2 (2014), 209–223; Phys. Solid State, 56:2 (2014), 207–222
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{NekGri14}
\by С.~С.~Некрашевич, В.~А.~Гриценко
\paper Электронная структура оксида кремния (Обзор)
\jour Физика твердого тела
\yr 2014
\vol 56
\issue 2
\pages 209--223
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ftt11880}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=21310839}
\transl
\jour Phys. Solid State
\yr 2014
\vol 56
\issue 2
\pages 207--222
\crossref{https://doi.org/10.1134/S106378341402022X}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt11880
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v56/i2/p209
  • Эта публикация цитируется в следующих 125 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Физика твердого тела Физика твердого тела
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025