Влияние ионного облучения на структуру и люминесцентные свойства пористого кремния, пропитанного вольфрам-теллуритным стеклом с примесями Er и Yb

С применением просвечивающей электронной микроскопии и элементного анализа показано, что вольфрам-теллуритное стекло (ВТС) с примесью эрбия и иттербия при вплавлении в вакууме при 500$^\circ$C проникает в поры пористого кремния (ПК). Обнаружено повышение до 5 раз интенсивности фотолюминесценции (ФЛ) эрбия на длине волны 1.54 $\mu$m в слоя ПК:ВТС при их облучении ионами P$^+$ и Ar$^+$. Это объясняется ионным перемешиванием, которое благоприятствует взаимодействию ионов Er и нанокристаллов Si в ПК, служащих сенсибилизаторами ФЛ, а также расширением области пропитки ПК стеклом. Имплантация более легких ионов Ne$^+$ слабо влияет на ФЛ ионов эрбия.