Твердофазный синтез силицидов марганца на поверхности Si(100)2 $\times$ 1

Методом фотоэлектронной спектроскопии высокого энергетического разрешения с использованием синхротронного излучения исследован твердофазный синтез силицидов марганца на поверхности Si(100)2 $\times$ 1, покрытой при комнатной температуре пленкой марганца толщиной 2 nm. Выявлена динамика изменения фазового состава и электронной структуры приповерхностной области с ростом температуры отжига образца в диапазоне до 600$^\circ$C. Показано, что в данных условиях на поверхности кремния последовательно формируются твердый раствор кремния в марганце, металлический моносилицид марганца MnSi и полупроводниковый силицид MnSi$_{1.7}$. Пленки обоих силицидов не являются сплошными, и занимаемая ими доля поверхности подложки уменьшается с повышением температуры отжига. Определены энергии связи Si 2$p$- и Mn 3$p$-электронов в синтезированных соединениях.