Размерная зависимость энергии активации диффузии в слоистой пленочной системе Cu–Ni

Приводятся результаты исследования влияния характерного размера на скорость протекания диффузионных процессов в наноразмерных пленочных системах Cu–Ni. Пленочная система формировалась путем последовательной конденсации компонентов в вакууме, а энергия активации диффузии определялась по изменению электросопротивления пленочной системы в цикле нагрев–охлаждение. Показано, что энергия активации зернограничной диффузии понижается с уменьшением характерного размера системы. Так, для пленочной системы с характерным размером 5 nm указанная величина составила 0.25 eV, что соответствует увеличению коэффициента зернограничной диффузии на 10 порядков по сравнению со значением для массивных образцов.