Электрическое сопротивление и $1/f$-флуктуации в тонких пленках титана

Определена толщина металлического слоя, исследованы электрическое удельное сопротивление и спектральная плотность флуктуаций напряжения в тонких пленках титана с исходной толщиной 5–100 nm, полученных магнетронным напылением и предназначенных для перспективных элементов нейтронной оптики. Обнаружено, что в даже в самых тонких образцах сохраняется необходимый для функционирования сплошной металлический слой, при этом наблюдаются избыточные флуктуации его сопротивления со спектром $1/f$-типа. Показано, что метод измерения электрического сопротивления пленки можно использовать как эффективный экспресс-метод определения толщин металлических нанослоев.