Физика твердого тела
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика твердого тела:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика твердого тела, 2014, том 56, выпуск 11, страницы 2097–2103 (Mi ftt12182)  
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)

Диэлектрики

Два режима создания трехмерных субмикронных структур методом лазерной литографии

И. И. Шишкинab, К. Б. Самусевab, М. В. Рыбинab, М. Ф. Лимоновab, Р. В. Киянc, Б. Н. Чичковc, Ю. С. Кившарьad, П. А. Беловa

a Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
b Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, г. Санкт-Петербург
c Laser Zentrum Hannover, Hannover, Germany
d Nonlinear Physics Center, Australian National University, Canberra, Australia
PDF полного текста (1491 kB) Список цитирования (3)
Аннотация: Проведено исследование режимов создания трехмерных структур субмикронных размеров методом лазерной литографии, который основан на эффекте порогового процесса двухфотонной полимеризации фоточувствительного материала в фокусе лазерного луча. Для определения рабочей области литографа в координатах “мощность лазера-скорость перемещения образца относительно фокуса лазера” была изготовлена серия фотонных кристаллов с симметрией “поленницы” (woodpile structure). Детально анализируются два метода создания трехмерных структур – метод “растрового сканирования” и метод “векторной графики”. На примере кристаллов инвертированного яблоновита продемонстрированы преимущества метода “векторной графики” для создания периодических структур. Полученные образцы изучались методом сканирующей электронной микроскопии.
Поступила в редакцию: 05.05.2014
Англоязычная версия:
Physics of the Solid State, 2014, Volume 56, Issue 11, Pages 2166–2172
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063783414110262
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: И. И. Шишкин, К. Б. Самусев, М. В. Рыбин, М. Ф. Лимонов, Р. В. Киян, Б. Н. Чичков, Ю. С. Кившарь, П. А. Белов, “Два режима создания трехмерных субмикронных структур методом лазерной литографии”, Физика твердого тела, 56:11 (2014), 2097–2103; Phys. Solid State, 56:11 (2014), 2166–2172
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{ShiSamRyb14}
\by И.~И.~Шишкин, К.~Б.~Самусев, М.~В.~Рыбин, М.~Ф.~Лимонов, Р.~В.~Киян, Б.~Н.~Чичков, Ю.~С.~Кившарь, П.~А.~Белов
\paper Два режима создания трехмерных субмикронных структур методом лазерной литографии
\jour Физика твердого тела
\yr 2014
\vol 56
\issue 11
\pages 2097--2103
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ftt12182}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=22019238}
\transl
\jour Phys. Solid State
\yr 2014
\vol 56
\issue 11
\pages 2166--2172
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063783414110262}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt12182
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v56/i11/p2097
    • Эта публикация цитируется в следующих 3 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика твердого тела Физика твердого тела
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025