Особенности электронной и атомной структуры нанокристаллов кремния в матрице алюминия

Методами растровой электронной микроскопии, рентгеновской дифракции, ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии, рентгеновского поглощения вблизи края изучены пленки нанокомпозитов Al–Si, полученные методом магнетронного распыления составной мишени на кремниевую подложку. Обнаружено, что включения кремния представляют собой нанокристаллы со средним размером 20–25 nm, поверхность которых покрыта слоем аморфного кремния. В исходных пленках из-за наличия алюминиевой матрицы происходит изменение зонной структуры, в частности локализация состояний у дна валентной зоны. После удаления алюминия структура валентной зоны становится такой же, как в объемном материале, а структура зоны проводимости свидетельствует о наличии разупорядоченного поверхностного слоя толщиной $\sim$ 5 nm.