Физика твердого тела
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика твердого тела:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика твердого тела, 2013, том 55, выпуск 6, страницы 1071–1073 (Mi ftt12444)  
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)

Полупроводники

Создание геттера в кремнии путем имплантации ионов сурьмы

П. К. Садовскийa, А. Р. Челядинскийa, В. Б. Оджаевa, М. И. Тарасикa, А. С. Турцевичb, Ю. Б. Васильевb

a Белорусский государственный университет, Минск, Белоруссия
b ОАО "ИНТЕГРАЛ", Минск, Белоруссия
PDF полного текста (1096 kB) Список цитирования (4)
Аннотация: В кремнии путем имплантации ионов Sb$^+$ и последующих термообработок создан слой пористого кремния в качестве геттера неконтролируемых примесей. Времена жизни неравновесных носителей заряда в пластинах кремния $n$- и $p$-типа проводимости с геттерным слоем в 3–4 раза выше, чем без геттера.
Поступила в редакцию: 06.12.2012
Англоязычная версия:
Physics of the Solid State, 2013, Volume 55, Issue 6, Pages 1156–1158
DOI: https://doi.org/10.1134/S1063783413060292
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: П. К. Садовский, А. Р. Челядинский, В. Б. Оджаев, М. И. Тарасик, А. С. Турцевич, Ю. Б. Васильев, “Создание геттера в кремнии путем имплантации ионов сурьмы”, Физика твердого тела, 55:6 (2013), 1071–1073; Phys. Solid State, 55:6 (2013), 1156–1158
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{SadCheOdz13}
\by П.~К.~Садовский, А.~Р.~Челядинский, В.~Б.~Оджаев, М.~И.~Тарасик, А.~С.~Турцевич, Ю.~Б.~Васильев
\paper Создание геттера в кремнии путем имплантации ионов сурьмы
\jour Физика твердого тела
\yr 2013
\vol 55
\issue 6
\pages 1071--1073
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ftt12444}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=20322872}
\transl
\jour Phys. Solid State
\yr 2013
\vol 55
\issue 6
\pages 1156--1158
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1063783413060292}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt12444
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v55/i6/p1071
    • Эта публикация цитируется в следующих 4 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика твердого тела Физика твердого тела
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025