Роль адгезии при фазовом переходе металл-полупроводник в поликристаллических пленках диоксида ванадия

Травление тонких поликристаллических пленок диоксида ванадия в парах плавиковой кислоты позволило выявить существенное влияние степени адгезии на температурное положение и форму петли гистерезиса отражательной способности. Установлено, что в тех случаях, когда подложкой служит кремний, травление при комнатной температуре сопровождается внедрением водорода в тонкие пленки диоксида ванадия.