Эволюция упругих деформаций в эпитаксиальных пленках Ta$-$V

Методами электронной микроскопии и рентгеновской дифрактометрии изучены механизмы релаксации эпитаксиальных деформаций в (110) пленках Та$-$V. Большое несоответствие решеток металлов (${f=8.7}$%) и их сопряжение по низкосимметричной плоскости (110) обусловливают многостадийный процесс релаксации деформаций посредством введения петель вычитания в пленку Та. Несовершенные (с дефектом упаковки) петли с вектором Бюргерса ${{\mathbf b}=1/2~\langle 100\rangle}$ первоначально зарождаются по плоскостям $\{110\}$. По мере роста эти петли посредством сдвиговых реакций превращаются в совершенные с ${{\mathbf b}=1/2~\langle111\rangle}$ или ${{\mathbf b}=\langle001\rangle}$ с последующей сменой плоскости залегания. Характер сдвиговой реакции и тип образующихся совершенных петель определяются механическими напряжениями в пленке Та.