Физика твердого тела
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика твердого тела:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика твердого тела, 1990, том 32, выпуск 1, страницы 60–68 (Mi ftt5848)  
Взаимодействие точечных дефектов с атомами бора и фосфора в кристаллах Si при большой скорости генерации пар Френкеля

Л. И. Федина, А. Л. Асеев

Институт физики полупроводников СО АН СССР, г. Новосибирск
PDF полного текста (3354 kB)
Аннотация: На основе экспериментов по облучению в высоковольтном электронном микроскопе исследован процесс формирования скоплений междоузельных атомов в кристаллах Si с большой концентрацией атомов B и P. Показана сильная зависимость данного процесса от типа примеси и условий для стока точечных дефектов на поверхность. На этом основании обсуждаются механизмы взаимодействия точечных дефектов с атомами примесей.
Поступила в редакцию: 21.12.1988
Исправленный вариант: 29.05.1989
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 537.311.33;548.7;621.385.833
Образец цитирования: Л. И. Федина, А. Л. Асеев, “Взаимодействие точечных дефектов с атомами бора и фосфора в кристаллах Si при большой скорости генерации пар Френкеля”, Физика твердого тела, 32:1 (1990), 60–68
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{FedAse90}
\by Л.~И.~Федина, А.~Л.~Асеев
\paper Взаимодействие точечных дефектов с~атомами бора и~фосфора в~кристаллах~Si при~большой скорости генерации пар Френкеля
\jour Физика твердого тела
\yr 1990
\vol 32
\issue 1
\pages 60--68
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ftt5848}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt5848
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v32/i1/p60
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика твердого тела Физика твердого тела
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:134
    PDF полного текста:79
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025