Физика твердого тела
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика твердого тела:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика твердого тела, 1991, том 33, выпуск 11, страницы 3229–3234 (Mi ftt7170)  
Механизм микродефектов при выращивании бездислокационных монокристаллов кремния

Л. М. Сорокин, А. А. Ситникова, И. Ф. Червоный, Э. С. Фалькевич

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, г. Ленинград
PDF полного текста (4112 kB)
Аннотация: На основе изучения распределения микродефектов по картинам селективного травления в сопоставлении с данными расчета температурного профиля вдоль растущего слитка в зависимости от скорости роста определены температуры образования микродефектов в бестигельных монокристаллах кремния диаметром ${\sim30}$ мм. Предложен механизм образования микродефектов в таком кремнии, основанный на учете взаимодействия преимущественного типа собственных точечных дефектов с остаточными ростовыми примесями (атомами кислорода и углерода).
Поступила в редакцию: 21.05.1991
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 539.25:548.4
Образец цитирования: Л. М. Сорокин, А. А. Ситникова, И. Ф. Червоный, Э. С. Фалькевич, “Механизм микродефектов при выращивании бездислокационных монокристаллов кремния”, Физика твердого тела, 33:11 (1991), 3229–3234
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{SorSitChe91}
\by Л.~М.~Сорокин, А.~А.~Ситникова, И.~Ф.~Червоный, Э.~С.~Фалькевич
\paper Механизм микродефектов при выращивании бездислокационных монокристаллов кремния
\jour Физика твердого тела
\yr 1991
\vol 33
\issue 11
\pages 3229--3234
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ftt7170}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt7170
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v33/i11/p3229
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика твердого тела Физика твердого тела
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025