|
|
Физика твердого тела, 1991, том 33, выпуск 11, страницы 3315–3326
(Mi ftt7183)
|
|
|
|
ЭПР в 2-мм диапазоне и оптическое поглощение собственного дефекта в эпитаксиальных слоях 4$H$ SiC
Ю. А. Водаков, Е. Н. Калабухова, С. Н. Лукин, А. А. Лепнева, Е. Н. Мохов, Б. Д. Шанина Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, г. Ленинград
Аннотация:
Исследованы спектры ЭПР на частоте ${\nu=140}$ ГГц и оптического поглощения (ОП) эпитаксиальных слоев (ЭС) 4$H$ SiC, полученных вакуумным сублимационным «сэндвич-методом» с концентрацией азота от $10^{16}$ до $10^{18}\,\text{см}^{-3}$.
Обнаружен и изучен новый парамагнитный центр ЛК-1 в ЭС 4$H$ SiC, имеющих отклонение от стехиометрии в сторону избытка кремния. Исследована динамика изменения спектра ЭПР ЭС 4$H$ SiC в температурном интервале от 4.2 до 34 K. Из сравнения теории с экспериментом определена энергия связи парамагнитного носителя с дефектом (${E=12.8}$ мэВ) для центра ЛК-1. Предложена модель ЛК-1$-$атом кремния в гексагональной позиции углеродного узла, захвативший электрон Si$_{\text{C}}$-антиструктурный дефект.
Поступила в редакцию: 17.06.1991
Образец цитирования:
Ю. А. Водаков, Е. Н. Калабухова, С. Н. Лукин, А. А. Лепнева, Е. Н. Мохов, Б. Д. Шанина, “ЭПР в 2-мм диапазоне и оптическое поглощение собственного дефекта в эпитаксиальных слоях 4$H$ SiC”, Физика твердого тела, 33:11 (1991), 3315–3326
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt7183 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v33/i11/p3315
|
|