Две стадии роста кластеров La$_{0.7}$Sr$_{0.3}$MnO$_{3}$ в магнетронной плазме при модуляции потока частиц ионно-звуковой волной и осаждении его на стекло

Исследованы пленки с аморфной структурой, полученные магнетронным распылением мишени La$_{0.7}$Sr$_{0.3}$MnO$_{3}$, что дало возможность изучить кинетику кластеризации магнетронной плазмы при движении потока взаимодействующих частиц, с формированием сначала локальных атомных конфигураций докластерного уровня (первая стадия кластеризации) и последующим осаждением потока на протяженной стеклянной подложке (вторая стадия формирования разномасштабных кластеров). Показано, что немонотонность в изменении атомного порядка и свойств образцов при удалении от мишени обусловлена присутствием в потоке разновалентных ионов марганца и их пространственной модуляцией ионно-звуковой волной. Установлено, что ионы Mn$^{3+}$ и Mn$^{4+}$ содержатся во фрагментах плоскостей (13$\bar1$)-R; (203)-R; (212)-O; (003)-O, принадлежащих разномасштабным кластерам.