Кристаллизация слоев в гетероструктурах PZT/LNO/Si

Методами просвечивающей электронной микроскопии исследована микроструктура слоев композиции Pb(Zr$_{0.52}$Ti$_{0.48}$)O$_{3}$–LaNiO$_{3}$–Si и тонких пленок LaNiO$_{3}$, полученных методом химического осаждения из растворов. Выявлено, что поликристаллическая, пористая структура LaNiO$_{3}$ приводит к нарушению столбчатости структуры цирконата-титаната свинца. Рассмотрено влияние термической обработки на структуру и фазовый состав никелата лантана. Показано, что такие морфологические особенности структуры пленки LaNiO$_{3}$, как слоистость, пористость и разориентированность, наблюдаются при отжиге с температурой 550$^\circ$С и усугубляется при повышении до 800$^\circ$С.