Пьезоэлектрические свойства пористого кремния

На основании теоретического анализа и прямых экспериментов с образцами на основе пористого кремния $n$- и $p$-типа установлено, что пористый кремний, в связи с понижением симметрии кристаллической решетки, становится пьезоэлектриком. Показано, что оба типа ($n$- и $p$-) пористого кремния обладают пьезоэлектрическими свойствами; при этом пьезоэлектрические свойства пористого кремния $n$-типа, в 2.5 слабее пьезоэлектрических свойств пористого кремния $p$-типа, при одной и той же степени пористости. Это объясняется тем, что при одной и той же степени пористости, поры в кремнии $p$-типа более широкие и ровные при удалении от поверхности вглубь материала, а в пористом кремнии $n$-типа более узкие и извилистые.