Послойное испарение полупроводников при их нагреве электрическим током и характеристики высокотемпературных токовых шнуров

Исследованы послойное испарение в полупроводниковых материалах при их нагреве постоянным электрическим током и характеристики высокотемпературных токовых шнуров. Предложена модель послойного испарения, которое вызывается в полупроводниках локализацией энерговыделения в слое расплава из-за более высокой его проводимости по сравнению с твердой фазой. В рамках этой модели на примере кремния получены основные зависимости, связывающие параметры процесса испарения с характеристиками материала и мощностью энерговыделения в нем. На основании полученных результатов исследованы характеристики высокотемпературных токовых шнуров на стадии их расширения. Экспериментально показана применимость теоретических результатов для описания процессов в реальных шнурах.