Распад твердого раствора золота в кремнии I. Данные исследований ядерной спин-решеточной релаксации

С помощью метода оптической поляризации ядерных моментов изучены процессы распада твердого раствора золота в бездислокационном кремнии и в кремнии, содержащем дислокации. Были определены значения концентраций различных компонент твердого раствора золота в кремнии и исследована кинетика их изменения при различных температурах отжига. Показано, что в условиях низкотемпературного отжига (${T_{\text{отж}}=500}$, $600^{\circ}$С) основными центрами зародышеобразования при распаде твердого раствора золота являются кислородные термодоноры. При увеличении температуры отжига концентрация кислородных термодоноров уменьшается и основную роль в процессах распада твердого раствора золота играет поверхность, влияние которой возрастает при уменьшении толщины кристаллов. Показано, что при низкотемпературном отжиге кремния с дислокациями процесс распада твердого раствора золота может проходить в несколько этапов: сначала за счет захвата атомов примесей на дислокации, а далее, по мере насыщения «облаков Котрелла», путем взаимодействия с формирующимися в этих условиях кислородными термодонорами.